WMX3在半导体制程中的高速运动控制和振动抑制方案--软赢科技荣膺“CMCD 2022年度运动控制领域行业应用奖”

2022年12月20日，由中国传动网、中国运动控制产业联盟、中国直驱产业联盟、《伺服与运动控制》、《直驱与传动》杂志社主办的“2022年中国运动控制/直驱行业发展高峰论坛暨颁奖盛典”在广东省深圳顺利举行。来自运动控制行业的各界同仁汇聚一堂，回顾过去与展望未来，探讨运控企业的发展之路。

      软赢科技凭借WMX3软件运动控制系统斩获“CMCD 2022年度运动控制领域行业应用奖”。这个奖项的获得，是对软赢科技在运动控制行业的肯定。

      软赢科技的WMX3软件运动控制系统因为其灵活简单的应用方式、模块化和高实时性的软件架构，一直在国内外半导体前后道制程的设备控制领域拥有诸多的应用，例如晶圆的刻蚀、清洗、划片、探针检测、缺陷检测、Mini-LED的固晶等，客户包括三星半导体、海力士半导体、Disco、华为、舜宇仪器等。

      WMX3在半导体制程上的高速运动控制和振动抑制解决方案，优势主要体现在三个方面：高速的运动控制，高加速度下的振动抑制，以及两者的相结合带来的更高效率和稳定性的提升。WMX3控制系统通过高精度的无线振动传感器和数据接收分析系统得到精密运动平台和机构的模型参数，并且通过主动抑制振动的加减速算法和输入整形算法，对接下来的控制进行更高速和更稳定的运动规划和控制。用户可以从二十多种针对半导体前后道工艺而精心设计的高阶加减速中选择适合的类型，也可以叠加主动的输入整形来减少振动，可以很大程度上弥补机构本身的刚性不足的问题，在同样的cycle time中得到更平滑和稳定的运动，或者在同等的条件下获得更高加速度和更高速度的运动控制，从而提升晶圆取放、视觉和激光检测、晶圆划片、固晶等关键环节的稳定性和效率。

     软赢科技和安川MECHATROLINK协会共同展出WMX3+最新的MECHATROLINK-4总线的控制方案，可以搭配安川最新的Σ-X 系列伺服表现出高性能的控制表现，适用于各种高响应和平滑性要求的半导体和自动化设备控制方案。

     未来，软赢科技将继续致力于运动控制系统的研发，并不断为运动控制领域提供更多的优质产品、系统方案以及服务，持续为运动控制行业的发展添砖加瓦。