半导体制造装备

WMX3控制系统在中日韩诸多半导体大厂的各种半导体设备中得到成功的应用，例如晶圆清洗、PR涂覆、蚀刻、化学沉积、EDS检测、晶圆研磨、Die Attach、焊线、检测等。WMX3的创新灵活的“软件运动控制”和兼容性稳定性极佳的自主EtherCAT总线技术协助半导体设备完成了柔性控制和高效的统一。

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WMX3控制系统在中日韩诸多半导体大厂的各种半导体设备中得到成功的应用，例如晶圆清洗、PR涂覆、蚀刻、化学沉积、EDS检测、晶圆研磨、Die Attach、焊线、检测等。WMX3的创新灵活的“软件运动控制”和自主EtherCAT总线技术协助半导体设备完成了柔性控制和高效的统一。